Electronic pressure distribution sensor

전자식 압력분포 센서

대면적 압력센서

반도체, 수동소자, 디스플레이 전자부품 제조에 필요한 가압설비의 평탄도 균일 가압 정도를 측정하기 위한 센서로 실시간 압력분포 측정과 데이터 저장을 통해 빅데이터 기반 품질/수명 예측을 가능하게 합니다.

구분

형태

적용분야

Sensor 수

크기(mm2)

압력 범위(MPa)

압력 분해능(MPa)

작동 온도(℃)

외형

L-DPS*

(≤1MPa)

Button

Cell picker

1

35X35

0.005~0.5

0.005

<60℃

Sheet

Lamination roller

168

750X650

0.05~0.5

0.00005

<160℃

312

1500X925

0.1~0.5

0.00005

<160℃

66

100X80

0.15~0.75

0.00005

<160℃

H-DPS**
(>1MPa)

Sheet

Lamination

plate

3632

130X170

3~8.5

0.1

<65℃

Application

CMP, 인쇄, 전사, Stacking, Lamination 공정 압력 분포 측정

음압센서

음압을 이용하여 제품/부품을 잡거나 재위치 시키는 제조설비에서 각 진공홀의 음압 정도를 측정하기 위한 센서로 진공홀 막힘에 따른 제품의 불량발생을 감지하고 빅데이터 기반 공정 불량률을 예측합니다.

구분

형태

Size

압력 범위(MPa)

압력 분해능(MPa)

공간 분해능(MPa)

작동 온도(℃)

V-DPS*

Sheet

Customized

> 0.5 

> 0.005

> 2.5

< 180℃

Application

Pick & Place 설비, EMC 몰딩 공정 등

장력센서

인쇄 전자 제조의 핵심부품인 장력센서와 EPC센서를 통합한 복합센서로 실시간 장력 및 사행제어가 가능하며 데이터 저장을 통해 빅데이터 기반 품질/수명 예측을 가능하게 한다

구분

형태

Size

압력 범위(MPa)

압력 분해능(MPa)

공간 분해능(MPa)

작동 온도(℃)

R-DPS*

Roll

Customized

0.5 

> 0.005

> 2.5

0.1 ~ 0.5

Application

R2R(Roll to Roll), R2P(Roll to Plate) 설비내 장력 센서 및 EPC 대체

고온센서

발전소 및 에너지 공급에 사용되는 열 수송관의 두께 변화를 측정하는 안전센서로 실시간 측정을 통해 두께 감축 정도를 예측하고 위험을 감지하며 빅데이터를 기반으로 배관의 수명을 예측합니다.

구분

형태

Size

압력 범위(MPa)

압력 분해능(MPa)

공간 분해능(MPa)

작동 온도(℃)

HR-DPS*

Roll

Customized

TBD

TBD

TBD

TBD

Application

발전소내 열수송관 , 공급용 열수송관 등