대면적 압력센서
반도체, 수동소자, 디스플레이 등 전자부품 제조에 필요한 가압설비의 평탄도 및 균일 가압 정도를 측정하기 위한 센서로 실시간 압력분포 측정과 데이터 저장을 통해 빅데이터 기반 품질/수명 예측을 가능하게 합니다.
Electronic pressure distribution sensor
전자식 압력분포 센서
구분 | 형태 | 적용분야 | Sensor 수 | 크기(mm2) | 압력 범위(MPa) | 압력 분해능(MPa) | 작동 온도(℃) | 외형 |
L-DPS* (≤1MPa) | Button | Cell picker | 1 | 35X35 | 0.005~0.5 | 0.005 | <60℃ |  |
Sheet | Lamination roller | 168 | 750X650 | 0.05~0.5 | 0.00005 | <160℃ |  | |
312 | 1500X925 | 0.1~0.5 | 0.00005 | <160℃ |  | |||
66 | 100X80 | 0.15~0.75 | 0.00005 | <160℃ |  | |||
H-DPS** | Sheet | Lamination plate | 3632 | 130X170 | 3~8.5 | 0.1 | <65℃ |  |
Application
CMP, 인쇄, 전사, Stacking, Lamination 공정 압력 분포 측정
음압센서
음압을 이용하여 제품/부품을 잡거나 재위치 시키는 제조설비에서 각 진공홀의 음압 정도를 측정하기 위한 센서로 진공홀 막힘에 따른 제품의 불량발생을 감지하고 빅데이터 기반 공정 불량률을 예측합니다.
구분 | 형태 | Size | 압력 범위(MPa) | 압력 분해능(MPa) | 공간 분해능(MPa) | 작동 온도(℃) |
V-DPS* | Sheet | Customized | > 0.5 | > 0.005 | > 2.5 | < 180℃ |
Application
Pick & Place 설비, EMC 몰딩 공정 등
장력센서
인쇄 전자 제조의 핵심부품인 장력센서와 EPC센서를 통합한 복합센서로 실시간 장력 및 사행제어가 가능하며 데이터 저장을 통해 빅데이터 기반 품질/수명 예측을 가능하게 한다
구분 | 형태 | Size | 압력 범위(MPa) | 압력 분해능(MPa) | 공간 분해능(MPa) | 작동 온도(℃) |
R-DPS* | Roll | Customized | 0.5 | > 0.005 | > 2.5 | 0.1 ~ 0.5 |
Application
R2R(Roll to Roll), R2P(Roll to Plate) 설비내 장력 센서 및 EPC 대체
고온센서
발전소 및 에너지 공급에 사용되는 열 수송관의 두께 변화를 측정하는 안전센서로 실시간 측정을 통해 두께 감축 정도를 예측하고 위험을 감지하며 빅데이터를 기반으로 배관의 수명을 예측합니다.
구분 | 형태 | Size | 압력 범위(MPa) | 압력 분해능(MPa) | 공간 분해능(MPa) | 작동 온도(℃) |
HR-DPS* | Roll | Customized | TBD | TBD | TBD | TBD |
Application
발전소내 열수송관 , 공급용 열수송관 등